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29億元！Intel曬史上最貴開箱：全球首台高NA光刻機已裝機
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3月5日消息，Intel發布了一條特殊的開箱視頻，堪稱史上最貴：他們(men) 從(cong) ASML拿到的全球第一台高NA EUV光刻機，已經開始在美國俄勒岡(gang) 州希爾斯伯勒附近的工廠內(nei) 安裝了。
這台型號為(wei) Twinscan EXE:5000的光刻機著實是個(ge) 龐然大物，運輸過程中動用了250個(ge) 貨箱，總重約150噸，先用飛機從(cong) 荷蘭(lan) 運到俄勒岡(gang) 州波特蘭(lan) ，再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還隻是核心組件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師，耗時約6個(ge) 月，然後還得花時間調試。
這台光刻機主要作為(wei) 研究之用，將會(hui) 在Intel 18A節點上進行測試，但大規模量產(chan) 得等到剛剛宣布的Intel 14A節點上，時間預計2025-2026年左右 。
該光刻機可以實現8nm的分辨率，而現有低NA光刻機單次曝光隻能做到13nm，同時晶體(ti) 管密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關(guan) 心的價(jia) 格上，ASML的說法是大約3.8億(yi) 美元，但這隻是起步價(jia) ，更高配置自然更貴，Intel CEO帕特·基辛格透露在4億(yi) 美元左右，也就是逼近29億(yi) 元。
相比之下，低NA EUV光刻機約為(wei) 1.83億(yi) 美元。
除了Intel，三星、台積電、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機，首批訂單有數十台。
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